EBL

Dizionario delle Scienze Fisiche (1996)

EBL


EBL 〈i-bi-èl o, all'it., é-bi-èlle〉 [ELT] Sigla dell'ingl. Electron Beam Lithography "litografia a fascio elettronico" con cui s'indica il procedimento, simile alla fotolitografia ma che utilizza un fascio di elettroni anziché un fascio di luce, per incidere un circuito integrato sul wafer di silicio: v. circuiti elettronici integrati: I 613 e.

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